机构简介

中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称48所），又名长沙半导体工艺设备研究所，1964年5月成立于长沙市，是中国电子科技集团有限公司所属的国家级半导体工艺设备研究所。48所是以“三束”（离子束、分子束、电子束）技术为核心的军民两用型骨干科研生产单位，主要从事“三束”装备、硅基半导体装备、第三代半导体装备、泛半导体装备（光伏装备、热工装备）、特种传感器与系统等产品的设计、研制和生产。以“攻克半导体装备关键技术，解决军用核心电子元器件制造工艺装备短板问题”为主责，以“高端电子制造装备研发与产业化、特种传感器及系统”为主业。

48所现有在职职工1500余人（含管理的公司）。拥有国家第三代半导体技术创新中心（湖南）、国防科技工业有源层优化生长创新中心、国家光伏装备工程技术研究中心、中国-埃及可再生能源“一带一路”实验室等5个国家部委级平台和薄膜传感湖南省国防重点实验室等4个省部级平台，以及博士后科研工作站。

48所“三束”装备、第三代半导体装备技术处于国内领先地位。实现14nm全谱系离子注入机国产化；实现7×6英寸等生产型分子束外延设备国产化；积极推进电子束曝光机装备国产化；SiC成套核心装备实现产业化；管式PECVD等核心光伏装备市场占有率国内第一；热工装备支撑锂电新能源材料产业发展；“自研装备+自主工艺”开发的特种薄膜压力传感器保障载人航天重大任务，配套武器装备型号20多种，年出货量超万只。

48所始终立足于行业科技发展的最前沿，努力提高自主创新能力，取得重大科研成果400余项，其中填补国内空白148项、达到国际先进水平141项、列为国家替代进口119项，拥有知识产权505项，其中发明专利310项，软件版权77项，制定国家标准3项，国家军用标准1项，行业标准30项，发布SEMI标准11项。

48所持续着力提升政治能力和战略能力，落实中部地区崛起战略、深度融入地方经济、探索研究所与产业公司协同发展模式，在集团和省市大力支持下牵头共同建国家半导体装备产业集聚区。

机构资质

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