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订购记录
机构介绍
四轴激光图形化直写设备
制造厂商:
苏州苏大维格光电科技股份有限公司
生产国别:
中国
分类编码:
010804
购置日期:
2018-12-25
规格型号:
Microlab
仪器加盟状态:
服务机构
暂无
暂无
好评率
成交量
资质:
暂无
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获取联系方式请点击
15211044249
详细信息与指标
制造厂商:
苏州苏大维格光电科技股份有限公司
生产国别:
中国
分类编码:
010804
购置日期:
2018-12-25
规格型号:
Microlab
仪器加盟状态:
功能/应用范围:
分析
主要附件:
制作微米级器件的微结构,如光学器件(光栅,光子晶体,光波导)电学器件,二极管,晶体管等,纳米桥,超导器件等。
主要技术指标参数:
"最小结构尺寸0.2um 具有三个不同分辨率的光学镜头,支持基底厚度1-15mm支持Z轴基底翘曲100um 支持扫描曝光,灰度曝光,拖曳曝光 书写速度不小于10mm2/min@0.5um;40mm2/min@0.5um;80mm2/min@0.5um; 套刻精度小于等于500nm 支持256阶3D灰度光刻"
技术特色:
服务实例:
暂无