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大型仪器
订购记录
机构介绍
原子层沉积系统
制造厂商：
武汉科纳迪真空科技有限公司
生产国别：
中国
分类编码：
120302
购置日期：
2019-12-20
规格型号：
ALD-T200Q
仪器加盟状态：
服务机构
湘潭大学
100%
21
好评率
成交量
资质：
暂无
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15873299902
详细信息与指标
制造厂商：
武汉科纳迪真空科技有限公司
生产国别：
中国
分类编码：
120302
购置日期：
2019-12-20
规格型号：
ALD-T200Q
仪器加盟状态：
功能/应用范围：
可完成先进集成电路和特殊纳米涂层工艺研制，可实现多种材料的沉积
主要附件：
主要技术指标参数：
样品台尺寸：最大可放置8英寸样品，兼容8inch及以下样品尺寸；样品加热：双外热式加热设计，下腔体和上腔盖均配置有独立温控的铠装加热器，8英寸内加热温度为室温至300℃，温度控制精度±0.5℃；真空计：配置数字式薄膜压力传感器以及皮拉尼复合真空计用于压强的实时检测，检测范围分别为10-4至1Torr和10-5至103Torr。
技术特色：
服务实例：
暂无
湘公网安备43010402000435号